Published September 2014
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Conference paper
Influence of Site Competition Effects on Dopant Incorporation during Chemical Vapor Deposition of 4H-SiC Epitaxial Layers
- Others:
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
- NOVASiC ; NOVASiC
- NOVASiC, Savoie Technolac ; NOVASiC, Savoie Technolac
- Laboratoire de photonique et de nanostructures (LPN) ; Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Description
International audience
Additional details
- URL
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02025329
- URN
- urn:oai:HAL:hal-02025329v1
- Origin repository
- UNICA