Published September 10, 2007
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Conference paper
Qualification methodology for sub-micron ICs at the Low Noise Underground Laboratory of Rustrel
Contributors
Others:
- Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (IM2NP) ; Aix Marseille Université (AMU)-Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Laboratoire Souterrain à Bas Bruit (LSBB) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Avignon Université (AU)-Aix Marseille Université (AMU)-Observatoire de la Côte d'Azur ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Université Côte d'Azur (UCA)-Université Côte d'Azur (UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Description
International audience
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Identifiers
- URL
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02025605
- URN
- urn:oai:HAL:hal-02025605v1
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