Published September 25, 2017
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Journal article
Q factor limitation at short wavelength (around 300 nm) in III-nitride-on-silicon photonic crystal cavities
Contributors
Others:
- Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Orsay] (C2N) ; Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
- Nanophysique et Semiconducteurs (NPSC) ; PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS) ; Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG) ; Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG) ; Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
- ANR-11-LABX-0014,GANEX,Réseau national sur GaN(2011)
- ANR-13-BS10-0010,QUANONIC,Optique quantique et non-linéaire dans des cavités nitrures(2013)
- ANR-11-IDEX-0003,IPS,Idex Paris-Saclay(2011)
Description
III-nitride-on-silicon L3 and H2 photonic crystal cavities with resonances down to 315 nm and quality factors up to 1085 at 337 nm have been demonstrated. The reduction of quality factor (Q) with decreasing wavelength is investigated. Besides the QW absorption below 340 nm a noteworthy contribution is attributed to the residual absorption present in thin AlN layers grown on silicon, as measured by spectroscopic ellipsometry. This residual absorption ultimately limits the Q factor to around 250 at 300 nm when no active layer is present.
Abstract
International audienceAdditional details
Identifiers
- URL
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01631144
- URN
- urn:oai:HAL:hal-01631144v1
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- UNICA