Published February 20, 2017
| Version v1
Journal article
Turning the undesired voids in silicon into a tool: In-situ fabrication of free-standing 3C-SiC membranes
Contributors
Others:
- GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (GREMAN - UMR 7347) ; Université de Tours (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (INSA CVL) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
Description
International audience
Additional details
Identifiers
- URL
- https://hal.science/hal-01741061
- URN
- urn:oai:HAL:hal-01741061v1
Origin repository
- Origin repository
- UNICA