Published April 17, 2016
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Conference paper
Laser irradiation influence on Si/3C-SiC/Si heterostructures for subsequent 3C-SiC membrane elaboration
Contributors
Others:
- GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (GREMAN - UMR 7347) ; Université de Tours (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (INSA CVL) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
- Institut für Physikalische Hochtechnologie (IPH) ; Friedrich-Schiller-Universität = Friedrich Schiller University Jena [Jena, Germany]
Description
International audience
Additional details
Identifiers
- URL
- https://hal-univ-tours.archives-ouvertes.fr/hal-01741555
- URN
- urn:oai:HAL:hal-01741555v1
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- UNICA