Published April 17, 2016 | Version v1

Conference paper Metadata-only

Laser irradiation influence on Si/3C-SiC/Si heterostructures for subsequent 3C-SiC membrane elaboration

Creators: Michaud, Jean-François; Khazaka, Rami; Portail, M.; Andrä, G.; Bergmann, J.; Alquier, D.

Others:: GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (GREMAN - UMR 7347) ; Université de Tours (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (INSA CVL) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA); Institut für Physikalische Hochtechnologie (IPH) ; Friedrich-Schiller-Universität = Friedrich Schiller University Jena [Jena, Germany]

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Created:: February 27, 2023
Modified:: November 30, 2023