Published June 2013 | Version v1

Conference paper Metadata-only

Raman Investigation of Heavily Al Doped 4H-SiC Layers Grown by CVD

Creators: Kwasnicki, Pawel; Arvinte, Roxana; Peyre, Herve; Zielinski, Marcin; Konczewicz, Leszek; Contreras, Sylvie; Camassel, Jean; Juillaguet, Sandrine

Others:: Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Semi-conducteurs: Graphène, Grand gap & Photovoltaïque (SMC) ; Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA); NOVASiC ; NOVASiC

Description

Raman Investigation of Heavily Al Doped 4H-SiC Layers Grown by CVD

Abstract

International audience

Additional details

Created:: December 4, 2022
Modified:: December 1, 2023