Influence of Growth Temperature on Site Competition Effects During Chemical Vapor Deposition of 4H-SiC Layers

Creators: Zielinski, Marcin; Chassagne, Thierry; Arvinte, Roxana; Michon, Adrien; Portail, Marc; Contreras, Sylvie; Juillaguet, Sandrine; Peyre, Herve

Others:: NOVASiC ; NOVASiC; NOVASiC, Savoie Technolac ; NOVASiC, Savoie Technolac; Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA); Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Semi-conducteurs: Graphène, Grand gap & Photovoltaïque (SMC) ; Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Description

International audience