Static measurements of GaN MESFETs on (111) Si substrates

Creators: Hoel, Virginie; Guhel, Y.; Boudart, B.; Gaquière, Christophe; de Jaeger, Jean-Claude; Lahreche, H.; Gibart, P.

Others:: Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF); Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)

Description

For the first time, to the knowledge of the authors, GaN MESFETs on silicon substrate have been realised using low-pressure metal-organic vapour phase epitaxy. The devices demonstrate good pinch-off voltage and good breakdown voltage characteristics. A maximum extrinsic transconductance of 30 mS/mm was achieved on a 100 * 0.5 µm2 device. At a drain-to-source voltage of 30 V, the drain current density reaches 100 mA/mm at Vgs = 0 V.

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