Published October 2, 2015
| Version v1
Conference paper
p-Type Doping of 4H- and 3C-SiC Epitaxial Layers with Aluminum
Contributors
Others:
- NOVASiC, Savoie Technolac ; NOVASiC, Savoie Technolac
- NOVASiC ; NOVASiC
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
- Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Description
International audience
Additional details
Identifiers
- URL
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01936467
- URN
- urn:oai:HAL:hal-01936467v1
Origin repository
- Origin repository
- UNICA