Published May 2018 | Version v1

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Ultrathin AlN-Based HEMTs Grown on Silicon Substrate by NH 3 -MBE

Creators: Rennesson, Stéphanie; Leroux, Mathieu; Al Khalfioui, Mohamed; Nemoz, Maud; Chenot, Sebastien; Massies, Jean; Largeau, Ludovic; Dogmus, Ezgi; Zegaoui, Malek; Medjdoub, F; Semond, Fabrice

Others:: Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA); Laboratoire de photonique et de nanostructures (LPN) ; Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)

Description

International audience

Additional details

Created:: December 4, 2022
Modified:: November 27, 2023