Published May 2018
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Journal article
Ultrathin AlN-Based HEMTs Grown on Silicon Substrate by NH 3 -MBE
Contributors
Others:
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
- Laboratoire de photonique et de nanostructures (LPN) ; Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Description
International audience
Additional details
Identifiers
- URL
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02322484
- URN
- urn:oai:HAL:hal-02322484v1
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- UNICA