Published October 9, 2023
| Version v1
Patent
Procédé de réalisation d'une couche continue de nitrure
Contributors
Others:
- Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) ; Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
- Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UniCA)
Additional details
Identifiers
- URL
- https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04942693
- URN
- urn:oai:HAL:hal-04942693v1
Origin repository
- Origin repository
- UNICA