Published June 1, 2004
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Conference paper
Control of 3C-SiC/Si wafer bending by the "checker-board" carbonization method
Contributors
Others:
- NOVASiC ; NOVASiC
- Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces (LMI) ; Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL) ; Université de Lyon-Université de Lyon-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
- Groupe d'étude des semiconducteurs (GES) ; Université Montpellier 2 - Sciences et Techniques (UM2)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Description
International audience
Additional details
Identifiers
- URL
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00389901
- URN
- urn:oai:HAL:hal-00389901v1
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- UNICA