Published June 1, 2004 | Version v1

Conference paper Metadata-only

Control of 3C-SiC/Si wafer bending by the "checker-board" carbonization method

Creators: Chassagne, Thierry; Ferro, Gabriel; Haas, H.; Mank, H.; Leycuras, André; Monteil, Yves; Soares, Fillip; Balloud, Carole; Arcade, Philippe; Blanc, Caroline; Peyre, Hervé; Juillaguet, Sandrine; Camassel, Jean

Others:: NOVASiC ; NOVASiC; Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces (LMI) ; Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL) ; Université de Lyon-Université de Lyon-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA); Groupe d'étude des semiconducteurs (GES) ; Université Montpellier 2 - Sciences et Techniques (UM2)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Description

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Created:: December 4, 2022
Modified:: November 28, 2023