Published September 2017 | Version v1

Journal article Metadata-only

Evolution and prevention of meltback etching: Case study of semipolar GaN growth on patterned silicon substrates

Creators: Khoury, Michel; Tottereau, Olivier; Feuillet, Guy; Vennegues, Philippe; Zúñiga-Pérez, Jesús

Others:: Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) ; Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

Description

International audience

Additional details

Created:: December 4, 2022
Modified:: November 28, 2023