Published October 8, 2017 | Version v1

Conference paper Metadata-only

Impact of CMOS Post Nitridation Annealing on Reliability of 40nm 512kB Embedded Flash Array

Creators: Kempf, Thibault; Mantelli, Marc; Maugain, François; Regnier, Arnaud; Portal, Jean-Michel; Masson, Pascal; Moragues, Jean-Michel; Hesse, Marjorie; Della Marca, V.; Franck, Julien; Niel, Stephan

Others:: Laboratoire de Polytech Nice-Sophia (Polytech'Lab) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Université Côte d'Azur (UCA); Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (IM2NP) ; Aix Marseille Université (AMU)-Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); STMicroelectronics [Rousset] (ST-ROUSSET); STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES)

Description

International audience

Additional details

Created:: December 4, 2022
Modified:: December 1, 2023