Published October 5, 2003
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Conference paper
Investigation of 2 inch SiC layers grown in a resistively-heated LP-CVD reactor with horizontal "hot-walls"
Contributors
Others:
- NOVASiC ; NOVASiC
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
- Groupe d'étude des semiconducteurs (GES) ; Université Montpellier 2 - Sciences et Techniques (UM2)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Description
International audience
Additional details
Identifiers
- URL
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00389899
- URN
- urn:oai:HAL:hal-00389899v1
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- UNICA