Published April 2016 | Version v1

Journal article Metadata-only

Development of technological building blocks for the monolithic integration of ammonia-MBE-grown GaN-HEMTs with silicon CMOS

Creators: Comyn, Rémi; Cordier, Yvon; Chenot, Sébastien; Jaouad, Abdelatif; Maher, Hassan; Aimez, Vincent

Others:: Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA); Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes (LN2 ) ; Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL) ; Université de Lyon-Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon) ; Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]); Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT) ; Université de Sherbrooke (UdeS); Research and Development, OMMIC (OMMIC) ; OMMIC; Université de Sheerbrooke Faculty of Engineering

Description

International audience

Additional details

Created:: December 4, 2022
Modified:: November 30, 2023