Published April 2016
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Journal article
Development of technological building blocks for the monolithic integration of ammonia-MBE-grown GaN-HEMTs with silicon CMOS
Contributors
Others:
- Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA)
- Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes (LN2 ) ; Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL) ; Université de Lyon-Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon) ; Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
- Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT) ; Université de Sherbrooke (UdeS)
- Research and Development, OMMIC (OMMIC) ; OMMIC
- Université de Sheerbrooke Faculty of Engineering
Description
International audience
Additional details
Identifiers
- URL
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01918142
- URN
- urn:oai:HAL:hal-01918142v1
Origin repository
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- UNICA