Published June 13, 2013 | Version v1

Conference paper Metadata-only

Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers

Creators: Arvinte, Roxana; Zielinski, Marc; Chassagne, Thierry; Portail, Marc; Michon, Adrien; Kwasnicki, Pawel; Juillaguet, Sandrine; Peyre, Herve

Others:: NOVASiC, Savoie Technolac ; NOVASiC, Savoie Technolac; NOVASiC ; NOVASiC; Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA) ; Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS) ; COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA); Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Semi-conducteurs: Graphène, Grand gap & Photovoltaïque (SMC) ; Laboratoire Charles Coulomb (L2C) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Description

Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers

Abstract

International audience

Additional details

Created:: December 4, 2022
Modified:: December 1, 2023